Lift-Off-Prozesmodul

21Tage

Angebotsfrist12.05.2025 12:00 Uhr

Ausgeschriebene Leistung

Lieferung, Aufbau und Inbetriebnahme von 1 Stück Prozessmodul für die Bearbeitung einzelner Wafer im Lift-Off-Verfahren. Als Prozesschemikalie muss Dimethylsulfoxid (DMSO) verwendet werden. Das DMSO muss aufgeheizt und auf hohen Druck gebracht werden können. Zudem muss hochreines Wasser (DIW) mit 0,055 μS/cm zum Spülen verwendet werden können....

Vergabeart

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Auftrag­geber

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Vergabe­nummer (des Auftraggebers)

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Vergabe-ID (bei evergabe.de)

3159263
21Tage

Angebotsfrist12.05.2025 12:00 Uhr

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Ausführungsort (1)

  • 10115 Berlin

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