Streifenmasken 2025

a) Auftraggeber: Name des Auftraggebers: NaMLab gGmbH; Straße, Hausnummer: Nöthnitzer Straße 64 a; Postleitzahl: 01187; Ort: Dresden; Land: Deutschland; E-Mail: einkauf@namlab.com; Telefonnummer: +49 35121249900; Internetadresse: www.namlab.com
b) Vergabeart: Freihändige Vergabe ohne Teilnahmewettbewerb; Vergabenummer: 606123
c) Auftragsgegenstand: Für die Bearbeitung von Aufträgen zur Prozessierung von Wafern wird die optische Belichtung mit einer Maske auf einem transparenten Träger in Verbindung mit einer Entlackung und Reinigung und ggf. einer Beschichtung beauftragt. Die benötigten speziellen Prozessrouten wurden zuvor in gemeinsamen Forschungsprojekten entwickelt bzw. weiterentwickelt.
d) Ort der Leistung: Offizielle Bezeichnung: NaMLab gGmbH; Straße, Hausnummer: Nöthnitzer Straße 64 a; Postleitzahl: 01187; Ort: Dresden; Land: Deutschland
e) Zeitraum der Leistungserbringung: Beginn: 29.01.2025; Ende: 31.12.2025
f) Beauftragtes Unternehmen: Name des Auftragnehmers: Technische Universität Dresden; Bereich/Abteilung: Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik; Straße, Hausnummer: Nöthnitzer Straße 64; Postleitzahl: 01187; Ort: Dresden; Land: Deutschland; Internetadresse: www.tu-dresden.de