Durchführung von fotolithographischen Arbeiten zur Herstellung von Teststrukturen und Bauelementen für das Projekt TemCrysT

a) Auftraggeber: Name des Auftraggebers: NaMLab gGmbH; Straße, Hausnummer: Nöthnitzer Straße 64 a; Postleitzahl: 01187; Ort: Dresden; Land: Deutschland; E-Mail: info@namlab.com; Telefonnummer: +49 35121249900; Internetadresse: www.namlab.com
b) Vergabeart: Freihändige Vergabe ohne Teilnahmewettbewerb; Vergabenummer: 605995
c) Auftragsgegenstand: Die NaMLab gGmbH besitzt keinen eigenen Maskalinger und keinen eigenen Fotobelichter. Für das Forschungsprojekt TemCrysT werden Belichtungen von Wafern mit Photolack zur Prozessierung von Template-Wafern benötigt. Die benötigten Belichtungsprozesse wurden in früheren Forschungsprojekten gemeinsam mit der TU Dresden entwickelt und sollen von der TU Dresden, Institut für Halbleiter und Mikrotechnik bezogen werden.
Das Projekt TemCrysT wird ko-finanziert von der Europäischen Union und durch Steuermittel auf der Grundlage des vom Sächsischen Landtag beschlossenen Haushaltes.
d) Ort der Leistung: Offizielle Bezeichnung: Technische Universität Dresden; Straße, Hausnummer: Nöthnitzer Straße 64; Postleitzahl: 01187; Ort: Dresden; Land: Deutschland
e) Zeitraum der Leistungserbringung: Beginn: 01.08.2024; Ende: 30.06.2026
f) Beauftragtes Unternehmen: Name des Auftragnehmers: Technische Universität Dresden; Bereich/Abteilung: Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik; Straße, Hausnummer: Nöthnitzer Straße 64; Postleitzahl: 01187; Ort: Dresden; Land: Deutschland; Internetadresse: www.tu-dresden.de